Burst mode enabled ultrafast laser inscription inside gallium arsenide

Wang, AD; Sopena, P; Grojo, D

Wang, AD; Grojo, D (通讯作者)，Aix Marseille Univ, CNRS, LP3, UMR7341, F-13009 Marseille, France.

INTERNATIONAL JOURNAL OF EXTREME MANUFACTURING, 2022; 4 (4):

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